細胞分化観察

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がん細胞観察 FL-SEM

レーザー顕微鏡単体の場合、対物レンズで数十倍 ∼ 100倍程度の拡大率であり、細胞内器官のどの部分が蛍光染色されているか特定することができませんでした。しかし、数千倍の拡大率をもつSEM観察画像と画像合成することにより、蛍光染色分析をナノメートルオーダーのレベルで解析することが可能となります。

（a）FL観察像（対物レンズ約60倍）

（b）SEM観察画像（約3,000倍）

（c）高速画像合成したFL-SEM画像

細胞活性化

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生体組織観察 CT-SEM

実験用動物の腎臓について、ナノメートルオーダーの分解能を有する高解像度三次元CTモデル化が可能です。

(左) エポキシ包埋した腎臓、(右) CT-SEMにより取得した腎臓の糸球体三次元画像

微細加工CD-SEM

EB機能(アタッチメント)を用いたシリコン基板上のレジストパターン

計測/加工のプラットフォーム機能を装備した小型電子顕微鏡

使用レジスト：ZEP520A（ゼオン）

デバイス評価CD-SEM

ミニマルCD-SEMを用いて、レジストパターンの寸法計測を行っています。シンプルで直感的な専用ソフトによって、デバイス細線の寸法と高さを計測することが可能です。

専用ソフトでの操作画面。左から、100倍、10,000倍、CD計測画面。

精密ステージ

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画像処理

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触媒・無機材料

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高分子

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生体関連材料

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有機EL

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分野A

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分野B

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分野C

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分野D

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